出展者情報

V-110

株式会社 堀場エステック

VACUUM真空展
求む! 真空装置製造メーカー、半導体製造装置メーカー、真空熱処理炉メーカー、真空乾燥炉メーカー、凍結乾燥炉メーカー、高機能フィルム製造装置メーカー、高機能ガラス製造装置メーカー
コンパクト、オールメタル構造の自己温調型隔膜式真空計。

出展分野

真空計測器 / 真空関連部品・材料

出展内容

キャパシタンスマノメータ VG-200 Series

・自己温調型では最小クラスです。※2015年4月現在(当社調べ)
・独自の電極構造により高精度・高安定を実現します。
・耐食性に優れた Ni合金をダイヤフラムに採用しています。

【アプリケーション例】
・真空熱処理炉 (プロセスの最適化、歩留り向上に貢献します)
・凍結乾燥炉 (薬品、食品分野の凍結乾燥工程における品質管理、プロセス管理に最適です)
・真空乾燥炉 (リチウムイオンバッテリ電極、FPD基板溶剤塗布後の乾燥工程をモニタリングします)

キャパシタンスマノメータでチャンバの真空度を、コンパクトプロセスガスモニタで乾燥状態を簡単かつ高精度にモニタリングできます。

New! 新製品実演あり

出展者情報

堀場エステックは、ガス・液体の流量制御、液体の気化、製造装置内の真空計測など、半導体製造プロセスに必要不可欠な機器の開発・製造・販売を行っております。
堀場エステックの主力製品である流体計測・制御機器「マスフローコントローラ」は、まさに『小さな巨人』と呼べるほど、ハイエンドな半導体製造プロセスに欠かせない製品として、業界の発展に大きく貢献してきました。
そのグローバルシェア※は50%を超えます。 ※2017年3月現在(当社調べ)

”HORIBA Group is One Company”のもと、堀場エステックが保有する流体計測・制御技術、真空計測・制御技術と、堀場製作所が保有する分析技術等を融合させることで、あらゆるリソースの共有による、さまざまな分析アプリケーションをご提案します。

気体・液体・固体の分析・制御技術で、半導体製造プロセスの各段階に合わせた分析・制御装置を提供しています。
この半導体で培った技術を活かし、さまざまな産業の研究・開発現場における素材の評価から、プロセス管理、最終検査まであらゆるシーンで活躍しています。



住所 〒601-8116 京都府京都市南区上鳥羽鉾立町11-5 
部署名 営業本部 営業推進部
TEL 075-693-2312
URL http://www.horiba-stec.jp
メールアドレス info_stec@horibainfo.com
共同出展者