出展者情報

V-121

東京電子株式会社

VACUUM真空展
求む! 真空計測機器:MEMS関連企業、電源装置:成膜メーカー、成膜装置メーカー
今まで測定が困難であった10-12Paの圧力測定、10-13Pa台のガス分析を可能にした、極高真空(XHV)製品、そして、現在注目の成膜技術「HiPIMS」用パルス電源

出展分野

真空計測器 / 真空関連部品・材料

出展内容

極高真空計「3B-Gauge」、超低ガス放出残留ガス分析計「WATMASS」、HiPIMS用パルス電源等

真空計測機器においては、極高真空(XHV)と呼ばれる圧力領域の測定を可能とした極高真空計「3B-Gauge」、自身のイオン源からのガス放出を極限まで低減し、10-13Pa台のガス分析を可能とした、超低ガス放出残留ガス分析計「WATMASS」。また、これら製品の主構造材である、0.2%BeCuを材料とした真空チャンバやNEGポンプなど。
電源装置は、HiPIMS用パルス電源として高プラズマ密度化、バイポーラ電源として高プラズマ電位化を実現し、高品質のDLC成膜を実現するための電源。
正出力のDC電源、負出力のバイアス電源によりバイポーラとしての動作が可能。
評価用デモ機の貸し出しも行っております。

New! 新製品

出展者情報

弊社は、東京都板橋区において創業し、今期61期を迎えたメーカーです。
創業当時から現在まで、時代により製造製品の移り変わりはございましたが、現在は低真空~極高真空の領域までをカバーする「真空計測・制御機器」と、成膜装置用の「電源装置」を事業の2本柱とし、製品の設計開発、製造、販売を行っております。
弊社の強みは、特にお客様にカスタマイズした製品において発揮される「高い設計力」にあります。
技術者は設計開発~製造(組立)~調整~検査まで、一貫した全ての工程に携わるため、幅広い経験と知識を有しております。そのため、単にお客様のご要望を形にするだけでなく、時には過去の経験を基に、担当技術者がベストと判断する仕様をご提案することもございます。
仕事をお任せいただけることの「安心感」は数字には表せませんが、それは我々がお客様にご提供できる大きな利益だと考えております。
今後も自社の強みを生かし、多くのお客様のお役に立つ製品を作り続けて行きたいと考えております。



住所 〒174-0063 東京都板橋区前野町1丁目3番4号 
部署名 営業部
TEL 03-3969-4156
URL http://www.toel.co.jp
メールアドレス sales@toel.co.jp
共同出展者