出展者情報

V-131

株式会社Photo electron Soul

VACUUM真空展
求む! 電子ビームを扱っている装置メーカー様。具体的には、電子顕微鏡、半導体検査装置、半導体描画装置等の装置メーカー様。
シャープ、かつ、強い電子ビームを実現

出展分野

分析・試験装置

出展内容

電子ビーム生成装置 模型

半導体フォトカソード方式の特長は、電子ビームを自在に操ることができる点です。従来方式(熱陰極・FE)と比較し、シャープ、かつ、強い電子ビームを実現でき、パルス電子ビームの生成も容易です。エネルギー分散は0.2eV以下、引出し電流はpA~mAの範囲で調整可能です。


出展者情報

■電子ビーム生成装置を開発している、名古屋大学発ベンチャー企業です。名古屋大学で30年に渡って蓄積した技術を産業利用すべく設立されました。

■半導体フォトカソード技術(電子ビーム生成技術の一種)に大きな強みを持つ世界で唯一の企業です。
この方式の特長は、電子ビームを自在に操ることができる点です。従来方式(熱陰極・FE)と比較し、シャープ、かつ、強い電子ビームを実現でき、パルス電子ビームの生成も容易です。エネルギー分散は0.2eV以下、引出し電流はpA~mAの範囲で調整可能です。

■応用先として、電子顕微鏡、半導体検査装置、半導体描画装置などを想定しています。

■電子ビーム生成装置の試作機/デモ機がございます。評価希望の方はご連絡ください。



住所 〒464-0814 愛知県名古屋市千種区不老町名古屋大学 インキュベーション施設1階 
部署名 経営企画
TEL 052-712-1238
URL http://photoelectronsoul.com/
メールアドレス inquiry@photoelectronsoul.com
共同出展者