出展者情報

V-83

株式会社荏原製作所

VACUUM真空展
求む! 低真空領域を利用した様々な用途をご利用の企業様。油回転ポンプからドライ真空ポンプへの置換えを検討している企業様。
小型・軽量・省エネルギー志向の次世代型空冷ドライ真空ポンプで、真空環境を手軽にご提供いたします。

出展分野

真空ポンプ

出展内容

空冷式ドライ真空ポンプ

荏原製作所では、半導体、フラットパネルディスプレイ、LED、太陽電池を製造するのに不可欠なクリーンな製造環境をつくるのに必須なドライ真空ポンプや、パソコン、スマートフォン、デジタル家電や自動車の高機能化を支える半導体の微細化を可能にするCMP装置等、先端半導体産業分野で加速する技術進歩の一端を担っています。これら半導体産業における高度な精密製造技術で培った技術を活かし、空冷式ドライ真空ポンプを開発致しました。従来のドライ真空ポンプでは、水による冷却方式が一般的であった為、設置環境に制限がありました。空冷式ドライ真空ポンプはファンによる空冷方式を採用している為、冷却水設備が不要で電源さえあればご使用可能です。また、コンパクトかつ、軽量な設計である為、持ち運びが容易で設置スペースも選ばずに真空環境をご利用いただけます。企業・大学における研究利用等にも最適なポンプです。


出展者情報

荏原製作所は1912年に創業し、2012年に創業100周年を迎えました。創業事業であるポンプやコンプレッサーなどの風水力事業の他、水処理プラントやごみ焼却プラントなどの環境エンジニアリング事業、更に半導体製造装置などの精密・電子事業と事業領域を拡大してきました。精密・電子事業では、本格的なナノテクノロジー時代の到来を見据え、顧客ニーズに応じた各種コンポーネント機器、半導体製造装置を開発・製造・販売しています。主力製品のドライ真空ポンプの他に、CMP装置をグローバル市場に提供し、さらに、次世代のノードに対応する、めっき装置、バンプめっき装置、ベベル研磨装置、電子ビーム欠陥検査装置といった各種装置も市場投入しています。

世界を取り巻く環境は日々変化しており、エネルギー、水インフラ、環境関連施設などの社会・産業インフラの整備や、その構成要素となる高効率なシステム・機器類の社会的ニーズがますます高まっています。こうした社会的ニーズは荏原製作所の事業領域そのものであり、「水と空気と環境の分野で、優れた技術と最良のサービスを提供することにより、広く社会に貢献する」という企業理念を掲げ、我々は世界トップクラスの産業機械メーカを目指し、日々製品開発に取り組んでおります。



住所 〒251-8502 神奈川県藤沢市本藤沢4-2-1 
部署名 精密・電子事業カンパニー 営業統括部 開発営業推進課
TEL 0466-83-9000
URL http://www.ebara.co.jp
メールアドレス yoshikawa.hideyuki@ebara.com
共同出展者 株式会社 荏原フィールドテック