出展者情報

V-72

株式会社 荏原製作所

VACUUM真空展
求む! 空冷ドライ真空ポンプにご興味のある企業様。
小型・軽量・省エネルギーな空冷ドライ真空ポンプで、クリーンな真空環境を手軽にご提供いたします。

出展分野

真空ポンプ

出展内容

空冷式ドライ真空ポンプ

荏原製作所では、半導体産業向けドライ真空ポンプの開発・製造を1985年より開始し、半導体製造に不可欠なクリーンな真空環境の構築に携わり、FPD・LEDや太陽電池産業向けそれぞれの産業に適したドライ真空ポンプの開発・製造にも挑戦してまいりました。また、多くのお客様から求められた小型化・省エネルギー化にも取組み、初期のドライ真空ポンプと比較し、50~80%の電力削減効果やフットプリントの削減を達成いたしました。
そのような開発・製造の過程で培った技術を活かし、空冷式ドライ真空ポンプを開発致しました。従来のドライ真空ポンプでは、水による冷却方式が一般的であった為、設置環境に制限がありましたが、空冷式ドライ真空ポンプはファンによる空冷方式を採用したことにより、冷却水設備が不要で電源さえあれば使用可能となります。また、コンパクトかつ、軽量な設計である為、持ち運びが容易で設置スペースも選ばずに真空環境をご利用いただけます。企業・大学における研究利用等にも最適なポンプです。


出展者情報

荏原製作所は1912年に創業し、2012年に創業100周年を迎えました。創業事業であるポンプやコンプレッサーなどの風水力事業の他、水処理プラントやごみ焼却プラントなどの環境エンジニアリング事業、更に半導体製造装置などの精密・電子事業と事業領域を拡大してきました。今回出展させて頂いております精密・電子事業カンパニーでは、半導体産業をはじめ、FPD・LED・太陽電池と様々な業界のプロセス装置向けにドライ真空ポンプや排ガス処理装置を顧客ニーズに応じた形で開発・製造・販売しています。また、近年は半導体産業にて培ったドライ真空ポンプのクリーンな排気特性を一般産業向けに生かすべく、空冷式ドライ真空ポンプの開発・販売にも力を注いでおり、多くの業界における排気システム構築に対応できることが荏原製作所製品の強みです。
また、主力製品のドライ真空ポンプの他にも、半導体製造装置としてCMP装置をグローバル市場に提供し、さらに、次世代のノードに対応するめっき装置、バンプめっき装置、ベベル研磨装置、電子ビーム欠陥検査装置といった各種装置も市場投入しています。
真空や排気システム等お困りのことがございましたら、様々な用途に対応可能な荏原製作所にお気軽にご相談いただきたくお願いいたします。
世界を取り巻く環境は日々変化しており、エネルギー、水インフラ、環境関連施設などの社会・産業インフラの整備や、その構成要素となる高効率なシステム・機器類の社会的ニーズがますます高まっています。こうした社会的ニーズは荏原製作所の事業領域そのものであり、「水と空気と環境の分野で、優れた技術と最良のサービスを提供することにより、広く社会に貢献する」という企業理念を掲げ、我々は世界トップクラスの産業機械メーカを目指し、日々製品開発に取り組んでおります。



住所 〒251-8502 神奈川県藤沢市本藤沢4-2-1 
部署名 精密・電子事業カンパニー 営業統括部 開発営業推進課
TEL 0466-83-9000
URL http://www.ebara.co.jp
メールアドレス yoshikawa.hideyuki@ebara.com
共同出展者 株式会社 荏原フィールドテック